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ウェハーを化学汚染する要因は大別すると ①有機汚染 ②金属汚染 ③無機分子汚染
の３つがあります。
弊社ではこれらの汚染源の極力少ないピュアーな材料を選定している為、ウェハーをクリーンに搬送することが可能となります。
また、ウェハー面上の汚染評価ではＴＤ－ＧＣ／ＭＳ，ＩＣＰ，イオンクロマト等により微量汚染についてもより高精度に評価しております。Σ－seriesでは何れの評価でも他社やα－series以上の低有機汚染性を実現しております。
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| （１） |
ウェハーサイズφ１５０以下のΣ／α－seriesでは、弊社独自の柔軟なクッションを用いたウェハー円弧及びＯ.Ｆ.部分のソフト保持構造を採用しています。
これにより、バックグラインドウェハ－（２５０μｍ）でも安全に搬送可能となります。 |
| （２） |
ウェハーサイズφ２００においても、弾性体（オプション）を取り付けることで、上記同等以上の耐衝撃性能を有し、同じくバックグラインドウェハーの搬送が可能となります。 |
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| （１） 視認性 |
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Σ-series全機種において、カバーに透明素材を採用。容器内部の視認が可能となり、ウェハーの有無や枚数確認等が容易に行えます。 |
| （２） 最適シール性／テープレス |
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他社の一部小口径ウェハー容器では、搬送梱包の際に容器開口部にテープによるシーリングを実施しています。弊社製品の全機種では、ガスケットにより容器に気密性能を有する為、テープシールの必要はありません。 |
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弊社ではΣ－seriesの材質を変更し、帯電防止性能を有したΩ－seriesをラインアップしております。
各部品の体積抵抗値を下記の通り実現し、永久的に帯電防止性能を保持致します。
（体積抵抗値（Ω） カバー： 、ボトム： ）
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Σ-seriesでは、各部品単一材料で構成されており、容器使用後に部品毎に粉砕することでリサイクル可能です。 |
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各サイズのカセットは、ＳＥＭＩ規格を準拠しています。 |
