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ウェハーを従来以上に清浄に搬送
@アウトガスを抑え、低有機汚染性を実現
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Σ-300 FOSB |
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Σ-200
Σ-150
Σ-100K-1
Σ-125K-2
(カセット一体型) |
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ウェハーの工程内搬送や保管が可能
@ESD(静電気破壊)対策
A導電性能によるバーティクル付着対策 |
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Ω-125K-2
(カセット一体型) |
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搬送時の容器へのパーティクル侵入を防止
@高シール性能によるバーティクル付着対策
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α-200
α-150
α-125K-1
α-100K-1
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ウェハーを従来以上に清浄に搬送
透明性にすぐれ、ウェハーの確認が容易です。
積載高さもコンパクトです。
帯電防止タイプも品揃えしております。
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| ■ 注釈 ■ |
| ※ |
各機種の数字は収納ウェハーの直径を示しております。 |
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