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ラインナップ 製品特徴 SS50,75 Σ-300B FOSB SS300
  標準部品 オプション部品 全体寸法(mm) 全体
質量(g)
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 【Σ-Series】 ボトム ドア カバー カム バー リンク クッション ボトム
プレート
ガスケット フィルター ロボティック
フランジ
ハンドル 長さ 高さ 鳥瞰図 三面図
 Σ-300B FOSB PC PC PC PBT PBT PBT TPE TPE TPE PE/PTFE PC PC 390 342 329 4900
 
  部品名 / 材質 全体寸法(mm) 全体
質量(g)
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  カバー カセット ケース ボトム クッション ガスケット クリップ 長さ 高さ 鳥瞰図 三面図
 Σ-200 PC PP - PP PP TPE - 271 271 243 1976
 Σ-150 PC PP - PP PP TPE - 196 175 188 895
 Σ-125K-2 PC - PP - PE TPE - 174 161 166 577
 Σ-100K-1 PC PP - PP PE TPE - 175 141 139 562
 【α-Series】                          
 α-200 PC PP - PP PP TPE PA/GF 271 271 249 1855
 α-150 PP+(PA/GF) PP - PP PE シリコンゴム - 190 171 192 1019
 α-125K-1 PP+(PA/GF) PP - PP PE シリコンゴム - 172 162 164 780
 α-125K-2 PP+(PA/GF) - PP - PE シリコンゴム - 170 160 164 620
 α-100K-1 PP+(PA/GF) PP - PP PE シリコンゴム - 171 140 139 666
 【Ω-Series】                          
 Ω-200 PMMA PP - PP PP TPE - 271 271 243 1970
 Ω-150 PMMA PP - PP PP TPE - 175 200 188 905
 Ω-125K-2 PMMA - PP - PE TPE - 174 161 166 562 - -
 Ω-100K-1 PMMA PP - PP PE TPE - 175 141 139 550 - -
 【SS−Series】                          
 SS300 PC - PC - TPE TPE - 339 339 43 993
 SS300−Ω PMMA - PMMA - TPE TPE - 339 339 43 917
 SS100 PC - PC - PBT - - 112 112 15 65.5
 SS75 PC - PC - PBT - - 91 91 14 37
 SS50 PC - PC - PBT - - 63 63 14 18
 
略称名 材料名 略称名 材料名
PC ポリカーボネート PMMA ポリメチルメタクリレート
PP ポリプロピレン TPE エラストマー
PA ポリアミド PBT ポリブチレンテレフタレート
GF ガラスファイバー PTFE ポリテトラフルオロエチレン
PE ポリエチレン - 部品なし
 注釈 
注1) 製品名のK−1,K−2の意味については、下記の通りです。
K−1:カセット/ボトム 分離型タイプ
K−2:カセット/ボトム 一体型タイプ(=ケース)
注2) α−Seriesのカバー材質の(  )内は、カバー補強材であるフレーム材質を示します。
注3) 寸法方向については、下記の通りです。
長さ:ウェハーに対して垂直方向
幅 :ウェハーに対して水平方向
注4) 寸法及び重量は保証値ではありません。
 
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