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ラインナップ 製品特徴 SS50,75 Σ-300B FOSB SS300
SS50,75
   カバー、ケースにPC(ポリカーボネート)、クッション(ウェハー押さえ部)にPBT(ポリブチレンテレフタレート)を採用することにより、化合物半導体用ウェハーをクリーンに搬送することが可能です。また、摺動性に優れた材料(PC、PBT)を用いることで、パーティクル発生量を低く抑えることが出来ます。
  カバー+クッション(ウェハー押さえ)もしくは、ケース+クッションが嵌め込み式による一体化になっており、開閉時にクッション一体脱着が可能です。 
 また、外周形状が8角形な為、目視によりカバー締め量が容易に確認できます。さらに、カバー及びケースが透明な為、ウェハーも確認が容易です。
 
 
  部品名 / 材質 全体寸法(mm) 全体
質量(g)
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カバー クッション ケース 高さ 鳥瞰図 三面図
 SS50 PC PBT PC 63 14 18
 SS75 PC PBT PC 91 14 37
 SS100 PC PBT PC 112 15 65.5
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