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カバー、ケースにPC(ポリカーボネート)、クッション(ウェハー押さえ部)にPBT(ポリブチレンテレフタレート)を採用することにより、化合物半導体用ウェハーをクリーンに搬送することが可能です。また、摺動性に優れた材料(PC、PBT)を用いることで、パーティクル発生量を低く抑えることが出来ます。
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カバー+クッション(ウェハー押さえ)もしくは、ケース+クッションが嵌め込み式による一体化になっており、開閉時にクッション一体脱着が可能です。
また、外周形状が8角形な為、目視によりカバー締め量が容易に確認できます。さらに、カバー及びケースが透明な為、ウェハーも確認が容易です。 |
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部品名
/ 材質 |
全体寸法(mm) |
全体
質量(g) |
ダウンロード |
| カバー |
クッション |
ケース |
径 |
高さ |
鳥瞰図 |
三面図 |
| SS50 |
PC |
PBT |
PC |
63 |
14 |
18 |
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| SS75 |
PC |
PBT |
PC |
91 |
14 |
37 |
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| SS100 |
PC |
PBT |
PC |
112 |
15 |
65.5 |
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