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ラインナップ 製品特徴 SS50,75 Σ-300B FOSB SS300
 

 

  1. 有機汚染が極めて少ない
  2. 輸送・落下・振動に強い
  3. 各種ロードポートに対応
  4. ドアの分解・組立が簡単
  5. SEMI規格に準拠
  6. 自動ドア・手動ドア兼用タイプ
 
  標準部品 オプション部品 全体寸法(mm) 全体
質量(g)
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ボトム ドア カバー カム バー リンク クッション ボトム
プレート
ガスケット フィルター ロボティック
フランジ
ハンドル 長さ 高さ 鳥瞰図 三面図
 Σ-300B FOSB PC PC PC PBT PBT PBT TPE TPE TPE PE/PTFE PC PC 390 342 329 4900
Σ-300 FOSB(フル装備 分解) オプション (ロボティックフランジ) オプション (マニュアルハンドル)
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